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山东天马泰(tai)山机械申请半导体晶圆表面缺陷光学检测设备专利，提高检测效果准确(que)性

国家学问产权局信息表现(xian)，山东天马泰(tai)山机械集团有限公司(si)申请一项名为“一种半导体晶圆临(lin)盆用表面缺陷光学检测设备”的专利，公开号CN121703109A，申请日期为2025年12月。

专利摘要表现(xian)，本发现(xian)公开了一种半导体晶圆临(lin)盆用表面缺陷光学检测设备，涉及半导体晶圆临(lin)盆技术(shu)领域，包括检测架(jia)，检测架(jia)的一端装(zhuang)置有效于拍(pai)摄(she)检测的检测摄(she)像头，检测摄(she)像头的一侧(ce)设置有光源调零件构，光源调零件构包括设置在(zai)检测摄(she)像头一侧(ce)的旋转架(jia)，旋转架(jia)的底(di)端设置有沿周向均(jun)匀分布的若干个光源照耀(yao)头，光源照耀(yao)头的一侧(ce)设置有与旋转架(jia)流动连接的防(fang)护架(jia)，光源照耀(yao)头的顶端设置有与旋转架(jia)底(di)端流动连接的转动架(jia)，使光源照耀(yao)头能沿着转动架(jia)举行(xing)转动，且光源照耀(yao)头在(zai)旋转后能对连接的复位弹簧举行(xing)拉伸，同韶光源照耀(yao)头在(zai)举行(xing)旋转时能与防(fang)护架(jia)举行(xing)分离，且在(zai)旋转后能使光源照耀(yao)头旋转至检测地区(qu)，完成不同的光源照耀(yao)头疾速切(qie)换，提高检测效果准确(que)性。

天眼查材料表现(xian)，山东天马泰(tai)山机械集团有限公司(si)，建立(li)于2019年，位于济南市，是一家以从事非金属矿物制(zhi)品业为主的企业。企业注册资(zi)源6000万群(qun)众币。通过天眼查大数据分析，山东天马泰(tai)山机械集团有限公司(si)共对外投资(zi)了1家企业，参与招投标(biao)项目9次(ci)，产业线索方面有商标(biao)信息2条，专利信息37条，此外企业还具有行(xing)政(zheng)允许12个。

声(sheng)明(ming)：市场有风险，投资(zi)需审慎。本文为AI基于第三方数据天生，仅(jin)供参考，不组成个人投资(zi)建议。

来源：市场资(zi)讯(xun)